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场发射电子显微镜

来源:      发布时间:2018/3/7 11:24:48     点击率:1928


仪器名称:场发射电子显微镜

仪器型号:SU8010

生产厂家:日立

技术参数:

1、分辨率:1.0nm(15kV);1.3nm(1kV,减速模式);

2、加速电压:最低0.1kV,最高30kV

3、放大倍数:最小≥30倍;最大≤30万倍

4、电子枪:冷场发射电子枪

5、电子束流:≥1pA,且连续可变

6、配备高位及低位二次电子探测器,高位探测器可选择二次电子像或背散射像,并以任意比例混合,在低压下(小于2kV)可以成背散射电子像。

应用范围

1、高达1nm的分辨率,可用于形貌分析,可以对样品的形貌、粒径、分散性进行表征,可用于金属材料、薄膜材料、半导体材料、陶瓷材料、生物组织形貌的观察;

2、微区成分分析,通过对样品的微区成分进行定性分析、定量分析,可确定样品的组成。

服务领域:应用于各工业和科研领域,如进行各种材料的成分和结构解析,包括金属材料、金属失效分析、硅酸盐玻璃、电子材料、表面材料加工、超硬材料、硅酸盐材料、化工材料、光学材料、生物材料等的分析研究。

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